VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
n-Si (P: 10e14) native oxide (grazing x-rays) H2O2
1
(treated with peroxide solution, no ion etching)
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
(treated with peroxide solution, no ion etching)
n-Si (P: 10e14) native oxide (grazing x-rays) H2O2
2003
5
10
15
34
33
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1100
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
2
4.00E-06
0
0
0
0
2202
5
10412
0.0603073
0.397444
316
0.397444
365
0.396009
347
0.394583
335
0.393166
324
0.391757
329
0.390357
322
0.388966
355
0.387583
322
0.386209
312
0.384843
330
0.383485
363
0.382135
349
0.380794
347
0.37946
368
0.378135
374
0.376817
363
0.375508
415
0.374206
384
0.372911
350
0.371625
362
0.370346
386
0.369075
331
0.367811
368
0.366554
369
0.365305
391
0.364063
406
0.362828
397
0.361601
364
0.36038
384
0.359167
379
0.35796
405
0.356761
405
0.355568
366
0.354383
403
0.353204
396
0.352031
431
0.350866
442
0.349706
390
0.348554
387
0.347408
442
0.346268
411
0.345135
418
0.344008
371
0.342888
428
0.341773
442
0.340665
413
0.339563
452
0.338468
407
0.337378
403
0.336294
428
0.335216
430
0.334144
491
0.333078
461
0.332018
438
0.330963
458
0.329914
462
0.328871
438
0.327834
466
0.326802
485
0.325776
472
0.324755
504
0.32374
497
0.32273
516
0.321725
522
0.320726
482
0.319732
490
0.318744
511
0.31776
525
0.316782
521
0.315809
513
0.314841
497
0.313879
516
0.312921
592
0.311968
566
0.31102
528
0.310077
525
0.309139
584
0.308206
566
0.307278
596
0.306354
612
0.305435
643
0.304521
649
0.303612
637
0.302707
630
0.301807
611
0.300911
618
0.30002
624
0.299134
625
0.298252
636
0.297374
648
0.296501
648
0.295632
669
0.294768
719
0.293908
744
0.293052
787
0.2922
782
0.291353
819
0.29051
838
0.289671
784
0.288836
824
0.288006
816
0.287179
788
0.286357
854
0.285538
754
0.284724
771
0.283913
756
0.283106
777
0.282304
721
0.281505
717
0.28071
736
0.279919
793
0.279132
780
0.278348
771
0.277569
789
0.276793
930
0.276021
1043
0.275252
1079
0.274487
1114
0.273726
1301
0.272968
1258
0.272214
1300
0.271464
1201
0.270717
1021
0.269973
926
0.269233
883
0.268497
817
0.267764
730
0.267034
698
0.266308
609
0.265585
593
0.264866
482
0.26415
500
0.263437
486
0.262727
471
0.262021
444
0.261318
473
0.260618
437
0.259922
443
0.259228
453
0.258538
444
0.257851
475
0.257167
455
0.256486
440
0.255808
477
0.255134
463
0.254462
479
0.253793
421
0.253128
475
0.252465
435
0.251805
455
0.251149
445
0.250495
488
0.249844
468
0.249196
460
0.248551
499
0.247909
486
0.247269
494
0.246633
497
0.245999
487
0.245368
474
0.24474
498
0.244114
503
0.243492
507
0.242872
520
0.242254
496
0.24164
514
0.241028
487
0.240418
488
0.239812
492
0.239208
506
0.238606
533
0.238007
481
0.237411
497
0.236817
537
0.236226
523
0.235637
485
0.235051
548
0.234467
497
0.233886
516
0.233308
518
0.232731
534
0.232157
520
0.231586
515
0.231017
546
0.23045
515
0.229886
537
0.229324
536
0.228765
498
0.228208
548
0.227653
550
0.2271
548
0.22655
531
0.226002
556
0.225456
516
0.224913
573
0.224372
571
0.223833
543
0.223296
571
0.222761
530
0.222229
570
0.221699
589
0.221171
584
0.220645
579
0.220121
599
0.219599
588
0.21908
600
0.218563
613
0.218047
541
0.217534
610
0.217023
585
0.216514
569
0.216007
586
0.215502
623
0.214999
589
0.214498
616
0.213999
589
0.213502
609
0.213007
596
0.212514
580
0.212022
599
0.211533
616
0.211046
584
0.210561
609
0.210077
616
0.209596
645
0.209116
599
0.208638
612
0.208163
627
0.207688
613
0.207216
637
0.206746
616
0.206277
577
0.205811
624
0.205346
624
0.204883
620
0.204422
636
0.203962
635
0.203504
649
0.203048
662
0.202594
619
0.202141
640
0.201691
661
0.201242
632
0.200794
645
0.200349
616
0.199905
615
0.199462
663
0.199022
636
0.198583
684
0.198146
632
0.19771
662
0.197276
675
0.196844
664
0.196413
677
0.195984
707
0.195556
666
0.19513
701
0.194706
662
0.194283
645
0.193862
670
0.193443
695
0.193024
684
0.192608
708
0.192193
681
0.19178
675
0.191368
701
0.190957
699
0.190548
706
0.190141
747
0.189735
692
0.189331
696
0.188928
733
0.188526
683
0.188126
717
0.187728
691
0.18733
671
0.186935
771
0.18654
692
0.186148
703
0.185756
734
0.185366
681
0.184978
730
0.18459
739
0.184205
777
0.18382
736
0.183437
720
0.183055
735
0.182675
706
0.182296
734
0.181918
721
0.181542
714
0.181167
806
0.180793
710
0.180421
725
0.18005
755
0.17968
783
0.179312
732
0.178945
763
0.178579
756
0.178214
764
0.177851
732
0.177489
759
0.177128
769
0.176769
787
0.176411
802
0.176054
752
0.175698
747
0.175343
773
0.17499
759
0.174638
820
0.174287
788
0.173937
816
0.173589
729
0.173242
749
0.172896
825
0.172551
779
0.172207
799
0.171864
820
0.171523
796
0.171183
768
0.170844
780
0.170506
813
0.170169
821
0.169833
781
0.169499
821
0.169165
811
0.168833
792
0.168502
835
0.168172
831
0.167843
789
0.167515
810
0.167189
820
0.166863
802
0.166538
857
0.166215
847
0.165893
821
0.165571
814
0.165251
810
0.164932
916
0.164614
882
0.164297
844
0.163981
868
0.163666
867
0.163352
931
0.163039
891
0.162727
807
0.162416
906
0.162106
831
0.161797
924
0.161489
873
0.161182
830
0.160877
901
0.160572
875
0.160268
854
0.159965
875
0.159663
887
0.159362
891
0.159062
840
0.158763
852
0.158465
930
0.158168
857
0.157872
877
0.157577
921
0.157283
911
0.156989
882
0.156697
927
0.156406
928
0.156115
913
0.155825
886
0.155537
943
0.155249
941
0.154962
850
0.154676
922
0.154391
894
0.154107
960
0.153824
935
0.153542
964
0.15326
900
0.15298
960
0.1527
952
0.152421
964
0.152143
925
0.151866
943
0.15159
942
0.151315
992
0.15104
911
0.150767
956
0.150494
986
0.150222
1024
0.149951
914
0.149681
975
0.149411
971
0.149143
1017
0.148875
993
0.148608
968
0.148342
1026
0.148077
1022
0.147812
970
0.147548
984
0.147285
1021
0.147023
1025
0.146762
987
0.146502
1039
0.146242
966
0.145983
966
0.145725
987
0.145468
1000
0.145211
1075
0.144955
1052
0.1447
1030
0.144446
1025
0.144193
1054
0.14394
1052
0.143688
1049
0.143437
1068
0.143186
1031
0.142937
1028
0.142688
1024
0.142439
1027
0.142192
1096
0.141945
1028
0.141699
1069
0.141454
1053
0.141209
1040
0.140965
1062
0.140722
1136
0.14048
1065
0.140238
1071
0.139997
1075
0.139757
1083
0.139518
1086
0.139279
1074
0.139041
1096
0.138803
1116
0.138566
1095
0.13833
1161
0.138095
1150
0.13786
1155
0.137626
1121
0.137393
1187
0.13716
1093
0.136928
1137
0.136697
1151
0.136466
1140
0.136236
1115
0.136007
1145
0.135779
1162
0.135551
1176
0.135323
1159
0.135097
1087
0.134871
1149
0.134645
1164
0.13442
1193
0.134196
1150
0.133973
1138
0.13375
1134
0.133528
1219
0.133306
1199
0.133085
1195
0.132865
1233
0.132645
1139
0.132426
1139
0.132208
1252
0.13199
1180
0.131773
1154
0.131556
1224
0.13134
1301
0.131125
1221
0.13091
1251
0.130696
1198
0.130483
1229
0.13027
1277
0.130057
1239
0.129846
1275
0.129634
1284
0.129424
1218
0.129214
1296
0.129004
1274
0.128795
1248
0.128587
1276
0.12838
1298
0.128172
1324
0.127966
1255
0.12776
1332
0.127555
1295
0.12735
1255
0.127145
1334
0.126942
1303
0.126739
1280
0.126536
1277
0.126334
1361
0.126132
1370
0.125931
1425
0.125731
1369
0.125531
1377
0.125332
1367
0.125133
1476
0.124935
1434
0.124737
1418
0.12454
1407
0.124344
1408
0.124147
1388
0.123952
1490
0.123757
1440
0.123562
1440
0.123368
1426
0.123175
1502
0.122982
1448
0.12279
1449
0.122598
1506
0.122406
1532
0.122215
1608
0.122025
1514
0.121835
1553
0.121646
1519
0.121457
1551
0.121269
1471
0.121081
1646
0.120893
1559
0.120707
1563
0.12052
1574
0.120334
1554
0.120149
1568
0.119964
1534
0.11978
1714
0.119596
1586
0.119412
1625
0.119229
1701
0.119047
1637
0.118865
1658
0.118683
1641
0.118502
1603
0.118322
1630
0.118142
1670
0.117962
1658
0.117783
1744
0.117604
1797
0.117426
1811
0.117248
1824
0.117071
1864
0.116894
1911
0.116718
1951
0.116542
1974
0.116366
1889
0.116191
1897
0.116017
1876
0.115843
1885
0.115669
1865
0.115496
1785
0.115323
1761
0.115151
1772
0.114979
1714
0.114807
1740
0.114636
1679
0.114466
1632
0.114295
1631
0.114126
1558
0.113956
1511
0.113788
1505
0.113619
1530
0.113451
1577
0.113284
1466
0.113116
1620
0.11295
2052
0.112783
4526
0.112617
10412
0.112452
9507
0.112287
3652
0.112122
1699
0.111958
1462
0.111794
1453
0.111631
1418
0.111468
1347
0.111305
1401
0.111143
1357
0.110981
1383
0.11082
1337
0.110659
1379
0.110498
1370
0.110338
1355
0.110178
1403
0.110019
1309
0.10986
1346
0.109701
1357
0.109543
1339
0.109385
1372
0.109228
1348
0.109071
1391
0.108914
1421
0.108758
1341
0.108602
1400
0.108447
1343
0.108292
1413
0.108137
1438
0.107982
1385
0.107829
1455
0.107675
1327
0.107522
1374
0.107369
1407
0.107216
1431
0.107064
1417
0.106912
1394
0.106761
1420
0.10661
1426
0.106459
1344
0.106309
1461
0.106159
1401
0.10601
1508
0.105861
1468
0.105712
1443
0.105563
1407
0.105415
1438
0.105267
1405
0.10512
1449
0.104973
1463
0.104826
1403
0.10468
1452
0.104534
1471
0.104388
1426
0.104243
1484
0.104098
1507
0.103953
1459
0.103809
1443
0.103665
1510
0.103522
1438
0.103378
1431
0.103235
1501
0.103093
1441
0.102951
1515
0.102809
1395
0.102667
1461
0.102526
1505
0.102385
1536
0.102245
1514
0.102104
1442
0.101964
1428
0.101825
1498
0.101686
1480
0.101547
1489
0.101408
1467
0.10127
1465
0.101132
1560
0.100994
1515
0.100857
1544
0.10072
1580
0.100583
1483
0.100447
1454
0.100311
1462
0.100175
1510
0.10004
1490
0.0999048
1545
0.09977
1536
0.0996356
1518
0.0995014
1464
0.0993676
1618
0.099234
1517
0.0991008
1546
0.0989679
1570
0.0988353
1580
0.098703
1515
0.098571
1473
0.0984393
1543
0.0983079
1663
0.0981767
1598
0.0980459
1543
0.0979154
1536
0.0977852
1534
0.0976553
1642
0.0975257
1591
0.0973964
1627
0.0972674
1585
0.0971386
1558
0.0970102
1623
0.096882
1602
0.0967542
1616
0.0966266
1569
0.0964993
1610
0.0963723
1560
0.0962456
1587
0.0961192
1589
0.095993
1580
0.0958672
1614
0.0957416
1601
0.0956163
1573
0.0954913
1611
0.0953666
1605
0.0952421
1673
0.095118
1539
0.0949941
1589
0.0948704
1603
0.0947471
1661
0.094624
1675
0.0945012
1603
0.0943787
1682
0.0942564
1702
0.0941345
1642
0.0940128
1725
0.0938913
1751
0.0937701
1739
0.0936492
1680
0.0935286
1685
0.0934082
1650
0.0932881
1679
0.0931683
1698
0.0930487
1653
0.0929294
1700
0.0928103
1632
0.0926915
1669
0.092573
1672
0.0924547
1638
0.0923367
1669
0.092219
1746
0.0921015
1715
0.0919842
1677
0.0918672
1660
0.0917505
1665
0.091634
1671
0.0915178
1685
0.0914018
1640
0.0912861
1737
0.0911707
1686
0.0910554
1734
0.0909405
1723
0.0908257
1727
0.0907113
1703
0.090597
1818
0.0904831
1757
0.0903693
1773
0.0902558
1638
0.0901426
1740
0.0900296
1753
0.0899168
1764
0.0898043
1734
0.089692
1761
0.08958
1780
0.0894682
1683
0.0893567
1716
0.0892453
1811
0.0891343
1748
0.0890234
1757
0.0889128
1817
0.0888024
1740
0.0886923
1738
0.0885824
1788
0.0884727
1851
0.0883633
1696
0.0882541
1730
0.0881451
1838
0.0880364
1848
0.0879279
1779
0.0878196
1792
0.0877115
1717
0.0876037
1760
0.0874961
1749
0.0873887
1783
0.0872815
1915
0.0871746
1833
0.0870679
1741
0.0869614
1923
0.0868552
1877
0.0867492
1805
0.0866434
1827
0.0865378
1732
0.0864324
1880
0.0863272
1865
0.0862223
1818
0.0861176
1860
0.0860131
1906
0.0859088
1868
0.0858048
1892
0.0857009
1890
0.0855973
1811
0.0854939
1881
0.0853907
1830
0.0852877
1888
0.0851849
1873
0.0850824
1970
0.08498
1934
0.0848779
1889
0.0847759
1906
0.0846742
1957
0.0845727
1914
0.0844714
1947
0.0843703
1935
0.0842694
1969
0.0841688
1972
0.0840683
1962
0.083968
1960
0.0838679
1953
0.0837681
1977
0.0836684
2034
0.083569
1998
0.0834697
1937
0.0833707
1979
0.0832718
1938
0.0831732
1927
0.0830747
1984
0.0829765
1927
0.0828784
2008
0.0827806
2042
0.0826829
1989
0.0825855
1961
0.0824882
1953
0.0823912
1972
0.0822943
2006
0.0821976
1970
0.0821012
1977
0.0820049
1908
0.0819088
1948
0.0818129
2123
0.0817172
2270
0.0816217
2733
0.0815264
3127
0.0814312
3348
0.0813363
2407
0.0812415
2044
0.081147
2045
0.0810526
1968
0.0809584
1976
0.0808644
2040
0.0807706
1926
0.080677
2041
0.0805835
2035
0.0804903
2080
0.0803972
1934
0.0803043
2081
0.0802116
2046
0.0801191
2012
0.0800268
1998
0.0799346
2010
0.0798427
2097
0.0797509
2062
0.0796593
2079
0.0795678
2100
0.0794766
2197
0.0793855
2044
0.0792946
2093
0.0792039
2114
0.0791134
2139
0.079023
2113
0.0789329
2153
0.0788429
2178
0.078753
2184
0.0786634
2177
0.0785739
2118
0.0784846
2207
0.0783955
2156
0.0783065
2145
0.0782177
2210
0.0781291
2162
0.0780407
2206
0.0779524
2159
0.0778643
2147
0.0777764
2198
0.0776886
2299
0.0776011
2350
0.0775136
2303
0.0774264
2361
0.0773393
2405
0.0772524
2316
0.0771657
2360
0.0770791
2335
0.0769927
2296
0.0769064
2285
0.0768203
2371
0.0767344
2392
0.0766487
2349
0.0765631
2389
0.0764777
2424
0.0763924
2475
0.0763073
2459
0.0762224
2447
0.0761376
2478
0.076053
2391
0.0759685
2464
0.0758842
2562
0.0758001
2522
0.0757162
2481
0.0756323
2572
0.0755487
2565
0.0754652
2464
0.0753819
2513
0.0752987
2674
0.0752157
2596
0.0751328
2553
0.0750501
2554
0.0749675
2530
0.0748852
2633
0.0748029
2598
0.0747208
2608
0.0746389
2672
0.0745571
2739
0.0744755
2710
0.074394
2797
0.0743127
2788
0.0742315
2910
0.0741505
2866
0.0740697
2752
0.073989
2863
0.0739084
2894
0.073828
2828
0.0737477
2762
0.0736676
2787
0.0735877
2814
0.0735078
2718
0.0734282
2788
0.0733487
2848
0.0732693
2905
0.0731901
2891
0.073111
2908
0.0730321
3125
0.0729533
3130
0.0728746
3378
0.0727961
3274
0.0727178
3288
0.0726396
3185
0.0725615
2977
0.0724836
2861
0.0724059
2811
0.0723282
2761
0.0722507
2732
0.0721734
2788
0.0720962
2705
0.0720191
2730
0.0719422
2838
0.0718654
2956
0.0717888
3118
0.0717123
3301
0.0716359
3788
0.0715597
3974
0.0714836
4154
0.0714077
4066
0.0713319
3605
0.0712562
2986
0.0711807
2753
0.0711053
2402
0.07103
2378
0.0709549
2267
0.0708799
2239
0.0708051
2176
0.0707304
2177
0.0706558
2212
0.0705814
2523
0.0705071
3056
0.0704329
3374
0.0703588
3438
0.0702849
4713
0.0702112
8776
0.0701375
7203
0.070064
3169
0.0699906
2095
0.0699174
1757
0.0698443
1529
0.0697713
1624
0.0696984
1564
0.0696257
1486
0.0695531
1530
0.0694807
1505
0.0694083
1459
0.0693361
1590
0.0692641
1608
0.0691921
1727
0.0691203
1730
0.0690486
1865
0.068977
1897
0.0689056
1873
0.0688343
1737
0.0687631
1527
0.0686921
1512
0.0686211
1425
0.0685503
1338
0.0684796
1373
0.0684091
1271
0.0683386
1308
0.0682683
1336
0.0681982
1327
0.0681281
1394
0.0680582
1453
0.0679883
1690
0.0679187
1895
0.0678491
2287
0.0677796
2565
0.0677103
2494
0.0676411
1919
0.067572
1547
0.0675031
1267
0.0674342
1045
0.0673655
826
0.0672969
787
0.0672284
741
0.0671601
686
0.0670918
689
0.0670237
670
0.0669557
731
0.0668878
1449
0.06682
1715
0.0667524
1136
0.0666849
1830
0.0666174
6485
0.0665501
7109
0.066483
1005
0.0664159
274
0.0663489
199
0.0662821
159
0.0662154
165
0.0661488
134
0.0660823
141
0.0660159
139
0.0659496
139
0.0658835
135
0.0658175
109
0.0657515
134
0.0656857
121
0.06562
120
0.0655545
113
0.065489
127
0.0654236
138
0.0653584
156
0.0652932
139
0.0652282
122
0.0651633
128
0.0650985
131
0.0650338
134
0.0649692
123
0.0649048
160
0.0648404
166
0.0647761
132
0.064712
145
0.064648
136
0.064584
158
0.0645202
129
0.0644565
129
0.0643929
132
0.0643294
150
0.064266
143
0.0642027
146
0.0641396
133
0.0640765
164
0.0640135
145
0.0639507
161
0.0638879
149
0.0638253
140
0.0637628
176
0.0637003
155
0.063638
159
0.0635758
145
0.0635136
135
0.0634516
169
0.0633897
162
0.0633279
170
0.0632662
174
0.0632046
176
0.0631431
170
0.0630817
187
0.0630204
180
0.0629592
178
0.0628981
162
0.0628371
176
0.0627762
182
0.0627155
178
0.0626548
182
0.0625942
189
0.0625337
169
0.0624733
169
0.062413
152
0.0623528
149
0.0622928
174
0.0622328
195
0.0621729
217
0.0621131
198
0.0620534
313
0.0619938
367
0.0619343
403
0.0618749
382
0.0618156
317
0.0617564
221
0.0616973
194
0.0616383
184
0.0615794
146
0.0615206
139
0.0614619
139
0.0614032
115
0.0613447
104
0.0612863
144
0.0612279
160
0.0611697
173
0.0611115
201
0.0610535
210
0.0609955
234
0.0609377
221
0.0608799
264
0.0608222
238
0.0607647
189
0.0607072
153
0.0606498
193
0.0605925
148
0.0605353
112
0.0604781
58
0.0604211
10
0.0603642
5
0.0603073
(treated with peroxide solution, no ion etching)
n-Si (P: 10e14) native oxide (grazing x-rays) H2O2
2003
5
10
15
34
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
20
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
602
4
1407
0.059744
0.0614619
793
0.0614619
785
0.061456
756
0.0614501
796
0.0614443
776
0.0614384
730
0.0614325
699
0.0614267
722
0.0614208
677
0.0614149
729
0.0614091
757
0.0614032
707
0.0613974
649
0.0613915
625
0.0613857
645
0.0613798
647
0.061374
671
0.0613681
608
0.0613622
580
0.0613564
586
0.0613506
600
0.0613447
638
0.0613389
598
0.061333
579
0.0613272
620
0.0613213
541
0.0613155
580
0.0613096
571
0.0613038
569
0.0612979
590
0.0612921
609
0.0612863
569
0.0612804
610
0.0612746
596
0.0612688
619
0.0612629
645
0.0612571
634
0.0612513
648
0.0612454
670
0.0612396
688
0.0612338
698
0.0612279
703
0.0612221
694
0.0612163
769
0.0612105
697
0.0612046
738
0.0611988
757
0.061193
809
0.0611872
768
0.0611813
727
0.0611755
795
0.0611697
740
0.0611639
815
0.0611581
781
0.0611522
827
0.0611464
783
0.0611406
806
0.0611348
814
0.061129
864
0.0611232
782
0.0611174
797
0.0611115
823
0.0611057
866
0.0610999
863
0.0610941
887
0.0610883
866
0.0610825
824
0.0610767
916
0.0610709
948
0.0610651
929
0.0610593
877
0.0610535
922
0.0610477
985
0.0610419
961
0.0610361
966
0.0610303
1015
0.0610245
1086
0.0610187
1022
0.0610129
1055
0.0610071
1013
0.0610013
1078
0.0609955
1123
0.0609897
1083
0.060984
1107
0.0609782
1119
0.0609724
1040
0.0609666
1113
0.0609608
1157
0.060955
1139
0.0609492
1177
0.0609435
1182
0.0609377
1095
0.0609319
1133
0.0609261
1152
0.0609203
1167
0.0609146
1120
0.0609088
1141
0.060903
1134
0.0608972
1219
0.0608915
1103
0.0608857
1154
0.0608799
1107
0.0608741
1214
0.0608684
1203
0.0608626
1076
0.0608568
1117
0.0608511
1171
0.0608453
1124
0.0608395
1235
0.0608338
1133
0.060828
1260
0.0608222
1187
0.0608165
1214
0.0608107
1198
0.0608049
1224
0.0607992
1283
0.0607934
1312
0.0607877
1254
0.0607819
1407
0.0607762
1293
0.0607704
1285
0.0607647
1361
0.0607589
1320
0.0607531
1253
0.0607474
1286
0.0607416
1203
0.0607359
1140
0.0607301
1127
0.0607244
1072
0.0607187
1113
0.0607129
1023
0.0607072
965
0.0607014
964
0.0606957
939
0.0606899
851
0.0606842
819
0.0606785
802
0.0606727
802
0.060667
712
0.0606612
736
0.0606555
777
0.0606498
705
0.060644
754
0.0606383
742
0.0606326
703
0.0606268
720
0.0606211
687
0.0606154
703
0.0606096
754
0.0606039
716
0.0605982
785
0.0605925
777
0.0605867
767
0.060581
825
0.0605753
753
0.0605696
808
0.0605639
830
0.0605581
828
0.0605524
821
0.0605467
874
0.060541
848
0.0605353
792
0.0605295
818
0.0605238
757
0.0605181
810
0.0605124
815
0.0605067
775
0.060501
754
0.0604953
728
0.0604896
747
0.0604838
661
0.0604781
641
0.0604724
660
0.0604667
605
0.060461
600
0.0604553
570
0.0604496
507
0.0604439
481
0.0604382
428
0.0604325
393
0.0604268
360
0.0604211
343
0.0604154
283
0.0604097
223
0.060404
225
0.0603983
180
0.0603926
157
0.0603869
151
0.0603813
111
0.0603756
98
0.0603699
90
0.0603642
77
0.0603585
65
0.0603528
48
0.0603471
54
0.0603414
49
0.0603358
41
0.0603301
32
0.0603244
39
0.0603187
33
0.060313
29
0.0603073
20
0.0603017
26
0.060296
15
0.0602903
31
0.0602846
24
0.060279
20
0.0602733
19
0.0602676
12
0.0602619
21
0.0602563
16
0.0602506
22
0.0602449
19
0.0602393
22
0.0602336
29
0.0602279
17
0.0602223
15
0.0602166
14
0.0602109
17
0.0602053
11
0.0601996
14
0.0601939
21
0.0601883
13
0.0601826
21
0.060177
22
0.0601713
18
0.0601656
23
0.06016
10
0.0601543
22
0.0601487
20
0.060143
18
0.0601374
10
0.0601317
6
0.0601261
15
0.0601204
14
0.0601148
13
0.0601091
9
0.0601035
18
0.0600978
8
0.0600922
12
0.0600865
9
0.0600809
9
0.0600753
17
0.0600696
12
0.060064
6
0.0600583
6
0.0600527
16
0.0600471
17
0.0600414
11
0.0600358
4
0.0600302
11
0.0600245
7
0.0600189
16
0.0600133
14
0.0600076
8
0.060002
16
0.0599964
14
0.0599907
12
0.0599851
9
0.0599795
8
0.0599738
16
0.0599682
8
0.0599626
14
0.059957
17
0.0599514
14
0.0599457
13
0.0599401
17
0.0599345
7
0.0599289
12
0.0599233
9
0.0599176
12
0.059912
17
0.0599064
8
0.0599008
18
0.0598952
15
0.0598896
8
0.059884
14
0.0598783
9
0.0598727
9
0.0598671
8
0.0598615
9
0.0598559
12
0.0598503
9
0.0598447
12
0.0598391
6
0.0598335
15
0.0598279
8
0.0598223
12
0.0598167
11
0.0598111
7
0.0598055
12
0.0597999
14
0.0597943
15
0.0597887
13
0.0597831
13
0.0597775
8
0.0597719
13
0.0597663
13
0.0597607
11
0.0597551
10
0.0597495
7
0.059744
(treated with peroxide solution, no ion etching)
n-Si (P: 10e14) native oxide (grazing x-rays) H2O2
2003
5
10
15
34
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
538
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
4112
0.208638
0.210837
123
0.210837
73
0.210826
72
0.210815
93
0.210804
72
0.210793
84
0.210781
84
0.21077
75
0.210759
83
0.210748
66
0.210737
127
0.210726
97
0.210715
87
0.210704
85
0.210693
99
0.210682
81
0.21067
128
0.210659
98
0.210648
99
0.210637
87
0.210626
97
0.210615
74
0.210604
99
0.210593
96
0.210582
128
0.210571
102
0.21056
73
0.210548
88
0.210537
141
0.210526
104
0.210515
146
0.210504
93
0.210493
67
0.210482
83
0.210471
136
0.21046
109
0.210449
127
0.210438
113
0.210427
136
0.210416
85
0.210405
113
0.210393
154
0.210382
149
0.210371
144
0.21036
160
0.210349
164
0.210338
154
0.210327
145
0.210316
165
0.210305
196
0.210294
155
0.210283
195
0.210272
224
0.210261
211
0.21025
231
0.210239
257
0.210228
284
0.210217
347
0.210205
333
0.210194
366
0.210183
404
0.210172
458
0.210161
494
0.21015
542
0.210139
601
0.210128
649
0.210117
704
0.210106
777
0.210095
820
0.210084
953
0.210073
1085
0.210062
1124
0.210051
1269
0.21004
1449
0.210029
1579
0.210018
1724
0.210007
1950
0.209996
1997
0.209985
2168
0.209974
2354
0.209963
2501
0.209952
2768
0.209941
2971
0.20993
3124
0.209919
3274
0.209908
3385
0.209897
3646
0.209886
3603
0.209875
3775
0.209864
3979
0.209853
3984
0.209842
4056
0.209831
4027
0.20982
4112
0.209809
4047
0.209798
4074
0.209787
3986
0.209776
3812
0.209765
3659
0.209754
3503
0.209743
3329
0.209732
3326
0.209721
3063
0.20971
3027
0.209699
2733
0.209688
2616
0.209677
2479
0.209666
2181
0.209655
2008
0.209644
1936
0.209633
1720
0.209622
1545
0.209611
1521
0.2096
1413
0.209589
1257
0.209578
1172
0.209567
1084
0.209556
953
0.209545
857
0.209534
836
0.209523
755
0.209512
662
0.209501
620
0.20949
564
0.209479
514
0.209468
457
0.209457
408
0.209446
362
0.209435
308
0.209424
241
0.209413
220
0.209402
237
0.209391
244
0.20938
114
0.209369
140
0.209358
153
0.209347
154
0.209336
165
0.209325
128
0.209314
99
0.209304
90
0.209293
105
0.209282
93
0.209271
116
0.20926
73
0.209249
66
0.209238
80
0.209227
77
0.209216
109
0.209205
53
0.209194
96
0.209183
101
0.209172
64
0.209161
82
0.20915
85
0.209139
45
0.209128
92
0.209118
97
0.209107
0
0.209096
64
0.209085
46
0.209074
61
0.209063
91
0.209052
68
0.209041
90
0.20903
82
0.209019
76
0.209008
58
0.208997
55
0.208986
85
0.208975
69
0.208965
57
0.208954
54
0.208943
47
0.208932
21
0.208921
43
0.20891
66
0.208899
61
0.208888
79
0.208877
67
0.208866
48
0.208855
91
0.208845
63
0.208834
96
0.208823
57
0.208812
65
0.208801
77
0.20879
47
0.208779
48
0.208768
22
0.208757
60
0.208746
58
0.208736
45
0.208725
49
0.208714
41
0.208703
55
0.208692
48
0.208681
63
0.20867
52
0.208659
116
0.208648
20
0.208638
(treated with peroxide solution, no ion etching)
n-Si (P: 10e14) native oxide (grazing x-rays) H2O2
2003
5
10
15
34
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
290
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
587
0.165755
0.16714
57
0.16714
67
0.167133
36
0.167126
58
0.167119
31
0.167112
50
0.167105
50
0.167098
87
0.167091
80
0.167084
73
0.167077
30
0.16707
76
0.167063
54
0.167056
98
0.167049
63
0.167043
50
0.167036
56
0.167029
104
0.167022
93
0.167015
71
0.167008
92
0.167001
81
0.166994
70
0.166987
104
0.16698
56
0.166973
92
0.166966
90
0.166959
69
0.166952
134
0.166945
128
0.166938
115
0.166931
169
0.166924
78
0.166917
142
0.16691
163
0.166903
171
0.166896
164
0.166889
179
0.166882
196
0.166875
128
0.166868
216
0.166861
220
0.166854
186
0.166847
208
0.16684
250
0.166834
233
0.166827
217
0.16682
244
0.166813
242
0.166806
301
0.166799
280
0.166792
250
0.166785
270
0.166778
210
0.166771
258
0.166764
208
0.166757
225
0.16675
197
0.166743
275
0.166736
249
0.166729
226
0.166722
298
0.166715
267
0.166708
282
0.166701
306
0.166694
231
0.166688
297
0.166681
286
0.166674
309
0.166667
316
0.16666
354
0.166653
384
0.166646
407
0.166639
387
0.166632
460
0.166625
486
0.166618
459
0.166611
449
0.166604
490
0.166597
551
0.16659
518
0.166583
551
0.166576
509
0.16657
575
0.166563
563
0.166556
587
0.166549
479
0.166542
528
0.166535
534
0.166528
416
0.166521
410
0.166514
449
0.166507
383
0.1665
355
0.166493
322
0.166486
273
0.166479
284
0.166472
270
0.166466
254
0.166459
176
0.166452
188
0.166445
191
0.166438
126
0.166431
103
0.166424
162
0.166417
122
0.16641
94
0.166403
44
0.166396
73
0.166389
70
0.166382
31
0.166376
37
0.166369
21
0.166362
53
0.166355
45
0.166348
25
0.166341
55
0.166334
16
0.166327
50
0.16632
56
0.166313
50
0.166306
28
0.166299
36
0.166293
29
0.166286
50
0.166279
33
0.166272
25
0.166265
45
0.166258
26
0.166251
27
0.166244
50
0.166237
56
0.16623
49
0.166223
25
0.166216
50
0.16621
49
0.166203
35
0.166196
0
0.166189
18
0.166182
13
0.166175
34
0.166168
58
0.166161
27
0.166154
75
0.166147
61
0.166141
48
0.166134
66
0.166127
30
0.16612
68
0.166113
51
0.166106
23
0.166099
51
0.166092
51
0.166085
63
0.166078
80
0.166072
17
0.166065
6
0.166058
55
0.166051
28
0.166044
16
0.166037
16
0.16603
68
0.166023
42
0.166016
79
0.16601
79
0.166003
78
0.165996
35
0.165989
93
0.165982
93
0.165975
52
0.165968
30
0.165961
50
0.165954
54
0.165948
70
0.165941
30
0.165934
69
0.165927
35
0.16592
40
0.165913
50
0.165906
27
0.165899
59
0.165893
37
0.165886
40
0.165879
62
0.165872
38
0.165865
42
0.165858
7
0.165851
21
0.165844
38
0.165837
36
0.165831
38
0.165824
55
0.165817
73
0.16581
58
0.165803
29
0.165796
16
0.165789
15
0.165782
73
0.165776
16
0.165769
71
0.165762
49
0.165755
(treated with peroxide solution, no ion etching)
n-Si (P: 10e14) native oxide (grazing x-rays) H2O2
2003
5
10
15
34
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
109
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
76
4.00E-06
0
0
0
0
562
163
25423
0.143719
0.14518
1057
0.14518
1021
0.145175
1001
0.145169
1100
0.145164
1038
0.145159
1042
0.145154
1003
0.145148
996
0.145143
1073
0.145138
1033
0.145133
1014
0.145127
1000
0.145122
1042
0.145117
1077
0.145112
982
0.145106
981
0.145101
976
0.145096
953
0.145091
1003
0.145085
1000
0.14508
1009
0.145075
1026
0.145069
960
0.145064
961
0.145059
1048
0.145054
987
0.145048
989
0.145043
975
0.145038
987
0.145033
986
0.145027
960
0.145022
978
0.145017
975
0.145012
972
0.145006
964
0.145001
903
0.144996
876
0.144991
941
0.144985
947
0.14498
875
0.144975
894
0.14497
966
0.144964
923
0.144959
897
0.144954
888
0.144949
955
0.144943
838
0.144938
898
0.144933
854
0.144928
918
0.144922
854
0.144917
916
0.144912
917
0.144907
813
0.144901
887
0.144896
847
0.144891
817
0.144886
881
0.14488
880
0.144875
872
0.14487
862
0.144865
834
0.144859
892
0.144854
895
0.144849
928
0.144844
871
0.144838
931
0.144833
908
0.144828
1018
0.144823
987
0.144817
1049
0.144812
1029
0.144807
1098
0.144802
1140
0.144796
1163
0.144791
1263
0.144786
1281
0.144781
1350
0.144775
1481
0.14477
1504
0.144765
1561
0.14476
1767
0.144754
1803
0.144749
1944
0.144744
1971
0.144739
2151
0.144734
2127
0.144728
2277
0.144723
2459
0.144718
2553
0.144713
2686
0.144707
2766
0.144702
2832
0.144697
2955
0.144692
2987
0.144686
2971
0.144681
3186
0.144676
3238
0.144671
3229
0.144665
3324
0.14466
3237
0.144655
3208
0.14465
3258
0.144645
3292
0.144639
3133
0.144634
3084
0.144629
2970
0.144624
2906
0.144618
2845
0.144613
2687
0.144608
2551
0.144603
2385
0.144597
2240
0.144592
2203
0.144587
2053
0.144582
1912
0.144577
1730
0.144571
1653
0.144566
1632
0.144561
1519
0.144556
1426
0.14455
1351
0.144545
1309
0.14454
1295
0.144535
1118
0.14453
1195
0.144524
1159
0.144519
1118
0.144514
1072
0.144509
1031
0.144503
1028
0.144498
1062
0.144493
1023
0.144488
974
0.144483
957
0.144477
972
0.144472
964
0.144467
1007
0.144462
955
0.144456
973
0.144451
994
0.144446
1005
0.144441
1000
0.144436
1050
0.14443
1061
0.144425
1055
0.14442
1220
0.144415
1185
0.14441
1222
0.144404
1307
0.144399
1383
0.144394
1427
0.144389
1467
0.144383
1572
0.144378
1646
0.144373
1899
0.144368
1982
0.144363
2090
0.144357
2407
0.144352
2730
0.144347
3131
0.144342
3647
0.144337
4210
0.144331
4999
0.144326
5878
0.144321
7139
0.144316
8112
0.144311
10053
0.144305
11584
0.1443
13182
0.144295
14636
0.14429
15602
0.144285
16466
0.144279
16438
0.144274
16198
0.144269
15607
0.144264
15232
0.144259
15215
0.144253
16095
0.144248
17693
0.144243
19611
0.144238
21998
0.144233
23851
0.144227
25271
0.144222
25423
0.144217
23793
0.144212
21705
0.144207
17981
0.144201
14258
0.144196
10566
0.144191
7475
0.144186
5087
0.144181
3377
0.144175
2287
0.14417
1626
0.144165
1197
0.14416
982
0.144155
785
0.144149
688
0.144144
532
0.144139
522
0.144134
455
0.144129
414
0.144123
391
0.144118
373
0.144113
331
0.144108
304
0.144103
292
0.144097
262
0.144092
295
0.144087
272
0.144082
284
0.144077
251
0.144071
244
0.144066
235
0.144061
224
0.144056
230
0.144051
266
0.144046
227
0.14404
203
0.144035
231
0.14403
201
0.144025
231
0.14402
225
0.144014
221
0.144009
239
0.144004
209
0.143999
218
0.143994
226
0.143988
224
0.143983
232
0.143978
222
0.143973
212
0.143968
211
0.143963
205
0.143957
202
0.143952
234
0.143947
193
0.143942
202
0.143937
200
0.143931
226
0.143926
201
0.143921
198
0.143916
236
0.143911
195
0.143906
218
0.1439
226
0.143895
215
0.14389
199
0.143885
216
0.14388
195
0.143875
201
0.143869
212
0.143864
228
0.143859
214
0.143854
206
0.143849
200
0.143843
204
0.143838
203
0.143833
163
0.143828
217
0.143823
204
0.143818
211
0.143812
211
0.143807
194
0.143802
211
0.143797
211
0.143792
181
0.143787
199
0.143781
195
0.143776
192
0.143771
218
0.143766
201
0.143761
188
0.143756
187
0.14375
225
0.143745
182
0.14374
189
0.143735
184
0.14373
192
0.143725
196
0.143719
end of experiment
